技術(shù)前沿

清華大學(xué)科研成果MEMS振動(dòng)傳感器樣品通過(guò)檢測(cè)

時(shí)間：2018-09-13 作者：閱讀：4838

MEMS傳感器是利用集成電路技術(shù)工藝和微機(jī)械加工方法將基于各種物理效應(yīng)的機(jī)電敏感元器件和處理電路集成在一個(gè)芯片上的傳感器。具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、靈敏度高、可靠性高、易于集成以及耐惡劣工作環(huán)境等優(yōu)勢(shì)，從而促進(jìn)了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網(wǎng)絡(luò)化的方向發(fā)展。

MEMS振動(dòng)傳感器可用于機(jī)械中的振動(dòng)和位移、轉(zhuǎn)子與機(jī)殼的熱膨脹量的長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)；生產(chǎn)線(xiàn)的在線(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制；科學(xué)研究中的多種微小距離和微小運(yùn)動(dòng)的測(cè)量等。MEMS振動(dòng)傳感器已廣泛應(yīng)用于能源、化工、醫(yī)學(xué)、汽車(chē)、冶金，機(jī)器制造，軍工，科研教學(xué)等諸多領(lǐng)域。

MEMS振動(dòng)傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對(duì)各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用。隨著MEMS技術(shù)的快速發(fā)展使得MEMS傳感器受到各發(fā)達(dá)國(guó)家的廣泛關(guān)注，紛紛將MEMS傳感器技術(shù)作為戰(zhàn)略性的研究領(lǐng)域之一，并制定相關(guān)的計(jì)劃并投入巨資進(jìn)行專(zhuān)項(xiàng)研究。

近期，國(guó)家光電子中心圓滿(mǎn)完成了清華大學(xué)科研成果——MEMS振動(dòng)傳感器樣品的檢測(cè)任務(wù)。

MEMS振動(dòng)傳感器既是國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)制造裝備檢測(cè)用多功能微納傳感器專(zhuān)項(xiàng)的科研成果，也是針對(duì)武漢鍋爐股份有限公司關(guān)于在超高溫條件下監(jiān)測(cè)鍋爐內(nèi)振動(dòng)環(huán)境要求的研制成果。

科研成果驗(yàn)收是科研創(chuàng)新的關(guān)鍵所在，檢驗(yàn)檢測(cè)則是科研成果驗(yàn)收的主要手段。MEMS振動(dòng)傳感器屬于科研成果，在國(guó)內(nèi)還沒(méi)有相關(guān)的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。按照該項(xiàng)目驗(yàn)收要求，國(guó)家光電子中心與項(xiàng)目科研人員充分溝通交流，結(jié)合國(guó)家相似類(lèi)別設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)提出檢測(cè)方案，并通過(guò)檢測(cè)結(jié)果表明該傳感器已達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)，凸顯了檢驗(yàn)檢測(cè)對(duì)科技創(chuàng)新的基礎(chǔ)支撐作用。

MEMS傳感器作為國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場(chǎng)前景廣闊等特點(diǎn)備受世界各國(guó)的關(guān)注。近十年來(lái)，中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計(jì)、代工、封測(cè)到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國(guó)家對(duì)MEMS傳感器行業(yè)也給予了前所未有的政策支持。

我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機(jī)遇，特別是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。

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