S1000-掃描電鏡放大倍率校準圖形標準樣品

概述簡介：

        普天同創(chuàng)（深圳）科技有限公司 為掃描電鏡客戶定制放大倍率標準樣品。標樣基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。由德國聯(lián)邦物理研究所（PTB）對線距均勻性進行測量認證。測量結(jié)果可直接溯源至米定義計量基準。

規(guī)格尺寸：

        5mm×5mm×0.5mm（長×寬×厚）

產(chǎn)品描述：

     ○. 主體圖形為一“回”字形方框，分為4個象限，X、Y軸上為垂直坐標軸方向的線距20μm的短平行線條，

     ○. 4個象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形。

     ○. 內(nèi)框中部又是“回”字形方框，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形（如圖）。在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整。不同的線距大小可用于從10×～100,000×放大倍率范圍的校準，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計成方格形，是為了在對放大倍率進行準確校準的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗， 5μm和1μm/0.5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍率的校準而不必機械旋轉(zhuǎn)標準器。

主要用途：

     ○. 利用標樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

使用方法：

     ○. 可以直接參照標樣說明書的那八張相近圖像進行測量

注意事項：