掃描電子顯微鏡能測長嗎？

回答是肯定的。掃描電鏡本身的唯一功能不僅僅是用作微區(qū)放大,而且可以進行微米、 納米微小尺度計量測量。目前在國內(nèi)能測量納米長度的儀器雖然有多種，然而具備真正意義的納米計量測量條件的儀器不多。在測量的同時又能直接顯示納米物體形態(tài)，而且有合理、合法的標準器、有計量檢定規(guī)程，可以實現(xiàn)計量溯源的儀器非掃描電子顯微鏡莫屬。

換一句話說，掃描電鏡不僅能測長，而且理應(yīng)成為許多實際測長應(yīng)用領(lǐng)域中最佳的測 量工具。

掃描電鏡測長的三個基本條件是什么？

掃描電鏡能否作為測長計量儀器所必需的三個條件是：

(1)必須有掃描電鏡的計量檢定規(guī)程

計量檢定規(guī)程應(yīng)對與掃描電鏡測長有關(guān)的儀器參數(shù)，如掃描電鏡分辨力的、圖像放大倍率等進行校驗或校準并對重復(fù)性的確定，以及圖像畸變或線性失真度的校驗等做出明確的規(guī)定，只有通過計量檢定的掃描電鏡才可以用于精確測長。

(2)必須有掃描電鏡的長度測量的標準方法

標準方法規(guī)定掃描電鏡在測長時應(yīng)遵循的步驟及應(yīng)注意的一些問題，只有嚴格按照標準方法的規(guī)定執(zhí)行，才可能將測量的長度值追溯到長度基準。

(3)必須有掃描電鏡測長用的長度標準器

在掃描電鏡計量檢定時所進行的圖像放大倍率校準和在測長標準方法規(guī)定的實際測量過程中都必須使用長度標準器。如2004年通過審查的三個柵網(wǎng)標準樣品（柵網(wǎng)的大小分別為 12.50μm（G125）、25.00μm（G250）、62.50μm、82.50μm、125.00μm、165.00μm（G4）)和正在研制的其他微米和納米量級的長度標準器就是這樣的長度標準器。它是這三個基本條件的核心。